Chemical-mechanical polishing 2001 - advantages and future challenges : symposium held April 18-20, 2001, San Francisco, California, U.S.A
- Författare
- (Editors, Suryadevara V. Babu, Kenneth C. Cadien, Hiroyuki Yano.)
- Genre
- Konferenspublikation, Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Materials Research Society | c2001 | Pennsylvania, Warrendale, Pa | 1 v. (various pagings) : ill. 24 cm. | 1-55899-607-9 |